Thread: Ellipsometrie

  1. #1
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266

    Ellipsometrie

    Voor mijn thesis doe ik onderzoek op dunne filmen en de meest gebruikte methode voor de dikte meting hier is ellipsometrie. Wat er gebeurt is simpel:

    Er wordt s en p gepolariseerd licht (in fase) afgeschoten op de laag, dit licht gaat reflecteren en ondergaat daarbij een faseverandering en de intensiteit verhouding zal ook veranderen. Deze 2 worden gemeten en dan kan er via de Fresnal vergelijkingen en de wet van Snell de brekingsindex & dichtheid bepaald worden, daaruit haalt men dan de dikte.

    Mijn vraag nu: hoe komt het dat op atomair niveau, reflectie zorgt voor die verandering in fase en in intensiteit (door andere polarasitatie)? Na wat opzoek werk weet ik dat dit komt door elektrische dipolen maar ik vat nog niet helemaal hoe dit precies in zijn werk gaat.
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  2. #2
    DaFreak's Avatar
    Registered
    15/06/04
    Location
    Antwerpen
    Posts
    5,470
    iTrader
    0
    Mentioned
    5 Post(s)
    Reputation
    33/339
    Je weet er ongetwijfeld meer van af dan mij en dus heb je hoogst waarschijnlijk deze link ook al wel eens bekeken. Photon polarization - Wikipedia, the free encyclopedia
    Hoe reflectie en polarisatie op atomair niveau gebeurt of hoe indivuele photonen gepolariseerd worden is een enorm bizar verschijnsel. Eigenlijk kunnen we de uitkomst enkel met enige zekerheid berekenen als het over grote aantallen photonen op een groot oppervlak gaat en dus niet op atomair niveau gaan kijken wat er gebeurt. Als we dat toch proberen en kijken hoe een individueel photon zich gedraagt, kunnen we een berekend gokje wagen via QED maar ik vrees dat de eerste persoon die precies begrijpt hoe dit polarisatie proces op atomair niveau werkt jammer genoeg nog geboren moet worden :/

    sorry als ik volledig naast je vraag zit, just trying to help
    Last edited by DaFreak; 19-12-2010 at 21:59.
    no votes  

  3. #3
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    Je zit juist hoor maar ik dacht dat er misschien een uitleg was die het simpel met dipolen deed. Mijn kennis van kwantummechanica is redelijk beperkt en die van mijn publiek nog beperkter, dus zover als dit hoef ik niet te gaan
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  4. #4
    Fighting Hobbit's Avatar
    Registered
    04/08/04
    Location
    Freiburg
    Posts
    7,884
    iTrader
    0
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    10/15
    Quote Originally Posted by NotoriousP View Post
    This quote is hidden because you are ignoring this member. Show
    Je zit juist hoor maar ik dacht dat er misschien een uitleg was die het simpel met dipolen deed. Mijn kennis van kwantummechanica is redelijk beperkt en die van mijn publiek nog beperkter, dus zover als dit hoef ik niet te gaan
    In principe, als je het juist wilt doen denk ik dat je niet echt zonder kwantumeffecten kan. Ik denk eigenlijk wel dat je het zonder QED kan aanpakken, gezien je geen elektronen gaat exciteren en dus steeds met gebonden systemen zal blijven werken.
    Entropy isn't what it used to be
    no votes  

  5. #5
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    Dan heeft het geen zin om er verder op te zoeken, ik geloof dat zelfs de meeste jury leden niet veel kwantummechanica gehad hebben. Echt noodzakelijk is het ook niet om uit te leggen hoe het principe werkt, ik vroeg het mij maar af voor het geval dat iemand erachter zou vragen.

    Weet er iemand misschien welk meet toestel men gebruikt voor het analyseren van die lichtgolven?
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  6. #6
    Exorikos's Avatar
    Registered
    21/12/04
    Location
    Leuven
    Posts
    20,380
    iTrader
    0
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    24/227
    Diktemeting kan toch ook makkelijk met XRR? Zij het niet in situ natuurlijk.
    Physics is like sex: Sure, it may have practical results, but that is not the reason we do it. ~ R. Feynman
    All science is either physics or stamp collecting. ~ E. Rutherford
    S'il est vrai qu'on construit des cathédrales aujourd'hui dans la Science, il est bien dommage que les gens n'y puissent entrer, ne puissent pas toucher les pierres elles-mêmes.
    no votes  

  7. #7
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    Ellipsometrie is veel sneller, ongeveer een factor 10. Bovendien wordt het XRR machien ook voor XRD gebruikt en iedereen wilt van die 2 gebruik maken en de tijd is dus zeer beperkt. Als ge dagelijks soms 20 wafers moet meten, niet bepaald ideaal.
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  8. #8
    Exorikos's Avatar
    Registered
    21/12/04
    Location
    Leuven
    Posts
    20,380
    iTrader
    0
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    24/227
    En met ellipsometrie kan je diktebepaling doen tijdens het groeien. En het is veiliger... Ik had natuurlijk maar één sample te meten.

    Wat voor dunne films trouwens?
    Physics is like sex: Sure, it may have practical results, but that is not the reason we do it. ~ R. Feynman
    All science is either physics or stamp collecting. ~ E. Rutherford
    S'il est vrai qu'on construit des cathédrales aujourd'hui dans la Science, il est bien dommage que les gens n'y puissent entrer, ne puissent pas toucher les pierres elles-mêmes.
    no votes  

  9. #9
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    Ta2O5 en TaSiOx, deze laatste als mogelijke poort oxide voor III-V transistoren
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  10. #10
    Exorikos's Avatar
    Registered
    21/12/04
    Location
    Leuven
    Posts
    20,380
    iTrader
    0
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    24/227
    Welke dikte heb je voor ogen? Hoe deponeer je de film op je Si substraat? MBE? CVD? PVD? ALD?
    Physics is like sex: Sure, it may have practical results, but that is not the reason we do it. ~ R. Feynman
    All science is either physics or stamp collecting. ~ E. Rutherford
    S'il est vrai qu'on construit des cathédrales aujourd'hui dans la Science, il est bien dommage que les gens n'y puissent entrer, ne puissent pas toucher les pierres elles-mêmes.
    no votes  

  11. #11
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    ALD, de experimenten worden rond 8 a 12nm gedaan, op wat dikte series na die tot 40nm gaan. De uiteindelijke poort oxide laag zou wel maar 2 nm mogen zijn geloof ik.

    Binnenkort mag ik testen op het In0.7Ga0.3As substraat
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  12. #12
    Exorikos's Avatar
    Registered
    21/12/04
    Location
    Leuven
    Posts
    20,380
    iTrader
    0
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    24/227
    Ik heb vorige week nog een presentatie gedaan over ALD. Niet echt ideaal voor een industrieel proces wel.
    Physics is like sex: Sure, it may have practical results, but that is not the reason we do it. ~ R. Feynman
    All science is either physics or stamp collecting. ~ E. Rutherford
    S'il est vrai qu'on construit des cathédrales aujourd'hui dans la Science, il est bien dommage que les gens n'y puissent entrer, ne puissent pas toucher les pierres elles-mêmes.
    no votes  

  13. #13
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    Moest ge toevallig een goede afbeelding hebben voor het principe met TaCl5 (of een andere precursor met 5 liganden), zou ideaal zijn.

    Is zeker geen goed industrieel proces maar dat is het geval met de meeste van die technieken hé. Nuja industriële processen interesseren mij toch al een jaar niet meer.
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

  14. #14
    Exorikos's Avatar
    Registered
    21/12/04
    Location
    Leuven
    Posts
    20,380
    iTrader
    0
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    24/227
    Geen afbeeldingen, maar wel twee goede artikels, maar aangezien je op IMEC je thesis doet zal je het overzicht van Puurunen al wel kennen.

    Is het plasma enhanced ALD of gebruik je een andere precursor dan H2? Indien plasma enhanced, hoe zit het met de conformaliteit? Ik vraag me af of die nonconformality alleen geldt indien je in trenches groeit of ook gewoon op een oppervlak.
    Physics is like sex: Sure, it may have practical results, but that is not the reason we do it. ~ R. Feynman
    All science is either physics or stamp collecting. ~ E. Rutherford
    S'il est vrai qu'on construit des cathédrales aujourd'hui dans la Science, il est bien dommage que les gens n'y puissent entrer, ne puissent pas toucher les pierres elles-mêmes.
    no votes  

  15. #15
    NotoriousP's Avatar
    Registered
    09/07/06
    Location
    Sint-Katelijne-
    Posts
    14,939
    iTrader
    153 (100%)
    Mentioned
    0 Post(s)
    Reputation
    27/266
    Geen plasma, TaCl5 + H2O voor Ta2O5 en x*(TaCl5 + H2O) + y*(SiCl4 + H2O) voor TaSiOx.
    It's OK if you disagree with me.
    I can't force you to be right.
    no votes  

Posting Permissions

  • You may not post new threads
  • You may not post replies
  • You may not post attachments
  • You may not edit your posts
  •  

Log in

Log in